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真空扩散炉安装，我国光伏电池技术是从上世纪60年代发展空间太阳电池起步的，低成本生产技术及生产能力在80年代中期逐步建立。上个世纪60年代由于国产装备技术落后，无法满足电池工艺生产，先后从国外引进了链式扩散设备。进入80年代我国电子工业专用装备取得长足进展，电池生产用扩散设备回到管式扩散。短短的6年时间，我国光伏专用扩散设备经历了从处理125mmx125mm,156mmx156mn。方硅片向210mmx210mm方硅片跃进;扩散的质量从原来的单片和整管扩散均匀性在7%以内的水平，提高到目前单片和整管扩散均匀性在4%以内的国际先进水毛扩散方式从原来的开管扩散到现在的环保、洁净、节能、安全的闭管扩散;单批次产能从原来的150片、200片、300片发展到目前的400片;控制方式从原来的手动、PLC半自动控制到目前的微机全自动控制。 产品特点结构可分为立式、卧式 ，分组合可，便于安装调试 ，断电自动处理保护功能 ，超温、断偶保护 。恒温上下偏差报警 ，气体流量上下偏差报警 ，断电气体保护 ，系统自动修正恒温区 ，采用无油真空机组 ，管路采用Swagelok自动焊机焊接，安全、可靠 ，气体流量控制采用进口质量流量控制器 ，全自动送料机构，定位精度高、重复性好、装卸简单、调整简易方便；结构可分斜杆式、单杆式、悬臂式
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